更新時間：2024-10-08
TMC STACIS III 主動隔振系統STACIS ® III 是一種靈活的高級主動隔振系統。STACIS 采用*的慣性振動傳感器、復雜的控制算法和zui 先 進的壓電致動器，通過連續測量地板活動，然后膨脹和收縮壓電致動器以濾除地板運動來實時消除振動。
TMC STACIS III 主動隔振系統
STACIS ® III 是一種靈活的高級主動隔振系統。STACIS 采用*的慣性振動傳感器、復雜的控制算法和zui 先 進的壓電致動器，通過連續測量地板活動，然后膨脹和收縮壓電致動器以濾除地板運動來實時消除振動。
STACIS 最初設計用于隔離*半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備，現在是噪聲環境中最敏感儀器的行業標準解決方案，包括但不限于半導體工廠、故障分析實驗室、納米技術研究、納米制造設施和材料研究。
STACIS III 包括一個新的和改進的數字控制器，DC-2020。憑借新的雙核處理器和以太網以及前后面板的 USB 串行端口，這種新的高級控制系統為用戶提供了現代且易于使用的圖形用戶界面 (GUI)。STACIS 在全球范圍內成功安裝了數百次，是適用于對振動最敏感的儀器的理想隔振系統。
優勢：
STACIS 的硬度是空氣隔振器的數百倍，不受空氣隔振系統的任何限制。沒有“軟"懸架，而且與主動空氣系統不同，STACIS 可以放置在帶有內部主動空氣隔離系統的工具下方，兩個系統都經過全面優化。
du特的串行設計和專有的高壓壓電技術
可實現從 0.6 Hz 到 150 Hz 的寬活動帶寬和wu與lun比的真正主動隔振，從 2 Hz 開始可減少 90% 的振動。
| 主動自由度 | 6個 |
| 有效帶寬 | 0.6 赫茲 - 150 赫茲 |
| 被動固有頻率 | 18 赫茲垂直和水平 |
| 有效主動諧振頻率 | 0.5赫茲 |
| 1 Hz 時的隔離 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz 時的隔離 | ≥90% |
| 10 磅（4.5 千克）階躍輸入后的穩定時間（10:1 減少） | 0.3秒 |
| 內部噪音 | <0.1 納米均方根 |
| 每個隔離器的工作負載范圍 | 低容量：182-500 千克（400-1100 磅） 中容量：410-955 千克（900-2100 磅） 高容量：864-2045 千克（1900-4500 磅） |
| 剛度（1000 磅/454 千克質量，中等容量隔離器） | 40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛頓/米) |
| 從隔離器發出的磁場最大為 4 英寸（102 毫米） | <0.02 μG 寬帶 RMS |
